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零部件損壞：真空泵的某些關鍵零部件，如軸承、油封、轉子、端蓋等，如果損壞或磨損嚴重，也可能導致漏油。例如，軸承損壞可能導致油液從軸承位滲出，油封硬化則可能引發密封失效。油液問題：油液的質量直接影響真空泵的密封性能。油液過稀可能容易通過密封處滲出，而過濃則可能無法流動到潤滑部位，造成摩擦損耗。此

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外，油液中的臟物或水分也可能引起密封件膨脹、磨損或變形，導致漏油。使用條件不當：真空泵在使用過程中如果受到過大的振動、溫度過高或壓力波動等不利條件的影響，也可能導致泵漏油。振動可能導致密封件松動或損壞，高溫則可能加速油液變質和密封件老化。